MKS MultiGas? 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。
MKS的應(yīng)用場合包括:
①煙囪監(jiān)測器
②工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化
③空氣環(huán)境分析
④氣體純度分析
⑤燃燒排放監(jiān)測
⑥選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測
規(guī)格:
測試技術(shù):傅利葉變換紅外光譜
可測試氣體或水蒸氣:絕大多數(shù)分子除了氮氣,氧氣和氫氣
范圍:濃度從10ppb到100%
傅利葉變換紅外:2102制成傅利葉變換紅外
光譜分辨率:0.5 - 128cm-1
掃描速度:每秒5次在0.5cm-1
掃描時間:1 – 300秒
紅外源:碳化硅在1200℃
參考激光:氦氖(15798.2cm-1)
檢測器:液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT(汞-鎘-碲化物)
清潔(Purge)壓力:最大20PSI(1.5bar)
光譜室Purge流量: 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
光學(xué)系統(tǒng)Purge流量:0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的干燥空氣
壓力傳感器:MKS Baratron? 電容式薄膜壓力傳感器
Purge連接:Swagelok? 快速接頭
電腦要求:臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰?處理器,微軟Wingdows?XP操作系統(tǒng)1024 X 768顯示
通訊口:RJ-45交叉以太網(wǎng)
輸出選件:XML,模擬,AK,其他
尺寸:445mm寬 X 318mm高 X 648mm深
安裝:可安裝于19英寸標(biāo)準(zhǔn)機柜
電源:110V或220V,50/60hz,3A
重量:50公斤